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MEMS传感器的应用
1.医疗应用    MEMS传感器用于无创胎儿心率检测。胎儿心率的检测是一项技术性很强的工作。由于胎儿心率非常快,传统的听诊器甚至具有放大效应的超声多普勒仪器都难以准确测量胎儿心率。但具有数字显示功能的超声多普勒胎儿心率监测仪价格昂贵,仅在少数大医院使用,无法在中小医院和农村地区推广。此外,超声波震动波对胎儿,会对胎儿产生很大的不利影响。虽然检测剂量很低,但也属于破坏性检测的范畴,不适合定期反复检查和家庭使用。&nb...
振动传感器在水电厂中的应用
水力发电的基本原理是利用水位下降与水力发电机发电,是利用大坝来提高水位,水的重力势能转换为机械能的水轮机,然后使用机械能来驱动发电机发电。振动传感器是水电厂重要的监测设备之一。大型水电站的建设对振动传感器要求很高。    水力发电是一个复杂的过程。为了产生稳定的电流,涡轮机必须依靠稳定的流量。其中,线性位移传感器对水流流量的控制起着决定性的作用。配备线性位移传感器的水轮机选择水位下降且持续喷涌的水源,其水能保证水力的...
MEMS惯性传感器技术的新发展
信息社会已经进入了智能时代的发展阶段。智能手机、智能穿戴设备、无线智能网络、智能汽车、智能无人机、智能机器人等智能设备的创新和发展,正在或将改变信息社会的方方面面。MEMS智能传感器作为智能时代发展的基础和关键技术之一,已经进入了快速发展的新阶段。    20世纪70年代末,随着微电子技术的发展,传感器被赋予了“智能”的功能。人们提出了智能传感器的概念,包括传感器、执行器、合适的电源、内部计算能力、通信接口和数字信息...
振动传感器的重要性
随着设备智能化水平的不断提高和可靠性要求的不断提高,驱动电机的在线状态监测和位置、速度信号的实时反馈逐渐成为标准配置。电机附加装置如编码器、超速开关、pt00、PTC、振动传感器等应用越来越普遍。了解这些附加设备,实现与电机的有机集成,对电机生产厂家具有十分重要的意义。    振动传感器工作原理    振动传感器是电机状态监测的关键部件之一。它的作用是将机械振动转换成比例电。由于它实际上是一种机电...
MEMS加速度计的发展历程
20世纪70年代末,随着微电子技术的发展,传感器被赋予了“智能”的功能。人们提出了智能传感器的概念,包括传感器、执行器、合适的电源、内部计算能力、通信接口和数字信息识别。    在20世纪80年代早期,研究人员开始使用硅(SI)材料直接实现机械装置。微电子的二维加工技术扩展到三维加工,使得机械设备与微电子的集成成为可能。1986年,DARPA在建议书中提出了微电子机械系统(MEMS)的概念。1987年,人们在硅晶片涡...
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